LPE育成炉
(1)
加熱温度
MAX2400 ℃
(2)
加熱方式
高周波誘導加熱
(3)
熔液制御
直流コイル誘導加熱
(4)
制御方法
コイル電流制御(ACC)、温度計制御 (ATC)、手動方式
(5)
温度制御精度
士0.1% FS (ACC) 、1800 ℃士5℃ (ATC)
(6)
雰囲気ガス
Ar 、N2
(7)
到達圧力
常圧
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