SiC-PVT

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TWD

 PVT长晶炉规格: 

加热温度

最高温度2500°C

高周波电源

50KW7-15KHz

温度测量

利用上下红外放射温度计测温

控制方式

线圈电流控制(ACC)、放射温度计控制(ATC) 、手动方式

温度控制精度

0.1%FS(ACC)2500 °C5 °C (ATC)

气氛

真空、Ar N2

极限圧力

1.33x 10-3Pa (常温空妒时)

圧力控制范围

(133101) x105 Pa0.1%FS

低圧侧 1.0100.00.1 Torr

高圧侧1007605 Torr