SiC-LPE

hp-lpe
TWD

LPE长晶炉

(1)

加熱

最高2400 ℃

(2)

加熱方式

兩組高周波電源感應加熱

(3)

融液控制

附直流磁場線圈

(4)

控制方式

线電流控制(ACC)度計控制(ATC)、手動方式

(5)

控制精度

0.1% FS(ACC)1800 ℃5℃(ATC)

(6)

气氛

Ar N2

(7)

极限圧力

常壓