SiC-CVD

ht-cvd_1470364304
TWD

HT-CVD长晶炉规格:

(1)

石英

ID280,H1260

(2)

加热温度

最高2500 ℃

(3)

加热方式

两组高周波电源感应加热

(4)

测量

利用上下红外放射温度计测温

(5)

控制方式

线電流控制(ACC)、放射度計控制(ATC)、手動方式

(6)

控制精度

0.1% FS (ACC) 1800 ℃5℃ (ATC)

(7)

气氛

真空、SiH4C3H8H2Ar N2

(8)

极限圧力

13Pa (常温空妒时)

(9)

圧力控制范围

(10100) kPa0.1%FS

(767605 Torr