PVT長晶爐規格:
(1)
加熱溫度
最高溫度2500°C
(2)
高周波電源
50KW,7-15KHz
(3)
溫度測量
利用上下紅外放射溫度計測溫
(4)
控制方式
線圈電流控制(ACC)、放射溫度計控制(ATC) 、手動方式
(5)
溫度控制精度
士0.1%FS(ACC)、2500 °C士5 °C (ATC)
(6)
氣氛
真空、Ar 、N2
(7)
極限圧力
1.33x 10-3Pa (常溫空妒時)
(8)
圧力控制範圍
(133~101) x105 Pa士0.1%FS,
低圧側 1.0~100.0士0.1 Torr,
高圧側100~760士5 Torr
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