SiC-PVT

(1)

加熱溫度

最高溫度2500°C

(2)

高周波電源

50KW，7-15KHz

(3)

溫度測量

利用上下紅外放射溫度計測溫

(4)

控制方式

線圈電流控制(ACC)、放射溫度計控制(ATC) 、手動方式

(5)

溫度控制精度

士0.1%FS(ACC)、2500 °C士5 °C (ATC)

(6)

氣氛

真空、Ar 、N₂

(7)

極限圧力

1.33x 10^-3Pa (常溫空妒時)

(8)

圧力控制範圍

(133～101) x10⁵ Pa士0.1%FS，

低圧側 1.0～100.0士0.1 Torr，

高圧側100～760士5 Torr