SiC-CVD

(1)

石英管

ID280,H1260

(2)

加熱溫度

最高2500 ℃

(3)

加熱方式

兩組高周波電源感應加熱

(4)

溫度測量

利用上下紅外放射溫度計測溫

(5)

控制方式

線圈電流控制(ACC)、放射溫度計控制(ATC)、手動方式

(6)

溫度控制精度

士0.1% FS (ACC) 、1800 ℃士5℃ (ATC)

(7)

氣氛

真空、SiH₄、C₃H₈、H₂、Ar 、N₂ 等

(8)

極限圧力

13Pa (常溫空妒時)

(9)

圧力控制範圍

(10～100) kPa士0.1%FS，

(76～760士5 Torr