HT-CVD長晶爐規格:
(1)
石英管
ID280,H1260
(2)
加熱溫度
最高2500 ℃
(3)
加熱方式
兩組高周波電源感應加熱
(4)
溫度測量
利用上下紅外放射溫度計測溫
(5)
控制方式
線圈電流控制(ACC)、放射溫度計控制(ATC)、手動方式
(6)
溫度控制精度
士0.1% FS (ACC) 、1800 ℃士5℃ (ATC)
(7)
氣氛
真空、SiH4、C3H8、H2、Ar 、N2 等
(8)
極限圧力
13Pa (常溫空妒時)
(9)
圧力控制範圍
(10~100) kPa士0.1%FS,
(76~760士5 Torr
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