SiC-PVT

加热温度

最高温度2500°C

高周波电源

50KW，7-15KHz

温度测量

利用上下红外放射温度计测温

控制方式

线圈电流控制(ACC)、放射温度计控制(ATC) 、手动方式

温度控制精度

士0.1%FS(ACC)、2500 °C士5 °C (ATC)

气氛

真空、Ar 、N₂

极限圧力

1.33x 10^-3Pa (常温空妒时)

圧力控制范围

(133～101) x10⁵ Pa士0.1%FS，

低圧侧 1.0～100.0士0.1 Torr，

高圧侧100～760士5 Torr