PVT长晶炉规格:
加热温度
最高温度2500°C
高周波电源
50KW,7-15KHz
温度测量
利用上下红外放射温度计测温
控制方式
线圈电流控制(ACC)、放射温度计控制(ATC) 、手动方式
温度控制精度
士0.1%FS(ACC)、2500 °C士5 °C (ATC)
气氛
真空、Ar 、N2
极限圧力
1.33x 10-3Pa (常温空妒时)
圧力控制范围
(133~101) x105 Pa士0.1%FS,
低圧侧 1.0~100.0士0.1 Torr,
高圧侧100~760士5 Torr
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