SiC-CVD

(1)

石英管

ID280,H1260

(2)

加热温度

最高2500 ℃

(3)

加热方式

两组高周波电源感应加热

(4)

温度测量

利用上下红外放射温度计测温

(5)

控制方式

线圈電流控制(ACC)、放射温度計控制(ATC)、手動方式

(6)

温度控制精度

士0.1% FS (ACC) 、1800 ℃士5℃ (ATC)

(7)

气氛

真空、SiH₄、C₃H₈、H₂、Ar 、N₂ 等

(8)

极限圧力

13Pa (常温空妒时)

(9)

圧力控制范围

(10～100) kPa士0.1%FS，

(76～760士5 Torr