HT-CVD长晶炉规格:
(1)
石英管
ID280,H1260
(2)
加热温度
最高2500 ℃
(3)
加热方式
两组高周波电源感应加热
(4)
温度测量
利用上下红外放射温度计测温
(5)
控制方式
线圈電流控制(ACC)、放射温度計控制(ATC)、手動方式
(6)
温度控制精度
士0.1% FS (ACC) 、1800 ℃士5℃ (ATC)
(7)
气氛
真空、SiH4、C3H8、H2、Ar 、N2 等
(8)
极限圧力
13Pa (常温空妒时)
(9)
圧力控制范围
(10~100) kPa士0.1%FS,
(76~760士5 Torr
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